檢測項目 |
適用對象 |
檢測標準 |
風速(單向流)檢測
風量/換氣次數檢測
壓差檢測
高效過濾器檢漏(粒子計數器法)
潔凈度檢測(懸浮粒子數)
溫度檢測
相對濕度檢測
噪聲檢測 |
電子無塵室/潔凈室 |
《電子工業潔凈廠房設計規范》GB50472-2008 《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010 |